特許情報

電磁駆動型ポリマーMEMSミラー

管理番号 2012-020
技術の名称 電磁駆動型ポリマーMEMSミラー
キーワード
番号 特願2008-265832 HP掲載日 2013-03-12

技術の概要

高価な材料や複雑な製作工程が不要となる“電磁駆動型ポリマーMEMSミラー”に関する技術です。大幅な低コスト化を可能とする光偏向ミラー、光偏向ミラーの製作方法および光偏向器を提案致します。

活用のセールスポイント

・ シリコンよりも安価で低剛性材料であるポリマーを用いてデバイスを製作
・ フォトリソグラフィ技術によるパターニングのみを用いた単純な製作工程
・ 基盤には、Siではなくガラスを用いて簡易な工程で製造可能
・ 電磁石によりミラーを吸引し駆動させる簡易な駆動方式

説明図等